반도체노광장치

레이저여기타입 플라즈마 광원을 이용한 최첨단 반도체 노광장치에 있어서 레이저광을 조사하는 타겟재료 (액체제논등) 분사상태를 관찰하기 위해 당사의 나노펄스라이트가 사용되고 있습니다.

사용기기

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